2009-10-27 00:00
全自動虛擬量測AVM 成金母雞
成功大學研究團隊開發的「全自動虛擬量測(AVM)」技術,可以幫助半導體、面板業及太陽能產業,有效提高產品的製造良率、降低成本,繼台積電、奇美公司之後,今天和先知科技舉行技轉簽約,茂迪公司也將和成大簽約,這項研發成果將成為成大產學合作的「金母雞」。
研發AVM技術的成大E化製造研究中心主任鄭芳田表示,這項技術將可改變傳統「抽檢」方式,改為「全檢」,可幫助高科技產業提升產能,也為下世代的晶圓廠打一劑強心針,目前已獲得國內半導體、面板及太陽能三大產業的龍頭公司認同,未來目標是放眼全球市場。
鄭芳田表示,半導體晶圓廠目前的品質監控,是每隔一段時間插入一片測試晶圓,不但無法每片監測,以12吋廠為例,每月耗費1億元成本在監控晶片;若導入虛擬量測技術,不必使用控片,可以進行線上、即時的品質預測及機台效能監控。
鄭芳田說,AVM技術可應用的產業相當廣泛,市場規模不可小覷。
已申請17項專利
目前成功大學所擁有與AVM相關之技術,共已申請國內及美國、日本、韓國、與大陸等國共17項專利。
研發AVM技術的成大E化製造研究中心主任鄭芳田表示,這項技術將可改變傳統「抽檢」方式,改為「全檢」,可幫助高科技產業提升產能,也為下世代的晶圓廠打一劑強心針,目前已獲得國內半導體、面板及太陽能三大產業的龍頭公司認同,未來目標是放眼全球市場。
鄭芳田表示,半導體晶圓廠目前的品質監控,是每隔一段時間插入一片測試晶圓,不但無法每片監測,以12吋廠為例,每月耗費1億元成本在監控晶片;若導入虛擬量測技術,不必使用控片,可以進行線上、即時的品質預測及機台效能監控。
鄭芳田說,AVM技術可應用的產業相當廣泛,市場規模不可小覷。
已申請17項專利
目前成功大學所擁有與AVM相關之技術,共已申請國內及美國、日本、韓國、與大陸等國共17項專利。
晶圓製造 | 聯合王彩鸝 | 點閱(???)
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